上海禹軒Y43H-DN150不銹鋼減壓閥交付昆山電子制造:精準(zhǔn)調(diào)控高純度氬氣、氮?dú)赓x能半導(dǎo)體生產(chǎn)

2025-04-18 10:39:35 上海禹軒閥門 214


近日,上海禹軒閥門有限公司成功向昆山某知名電子制造企業(yè)交付一批Y43H-16P-DN150不銹鋼減壓閥,用于其高純度氬氣、氮?dú)夤?yīng)系統(tǒng)的壓力調(diào)控。該產(chǎn)品憑借卓越的調(diào)節(jié)性能與可靠性,為半導(dǎo)體晶圓制造、顯示面板生產(chǎn)等精密工藝提供了穩(wěn)定氣源保障,助力客戶提升生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。

一、項(xiàng)目背景:高純度氣體應(yīng)用的嚴(yán)苛挑戰(zhàn)昆山某電子制造企業(yè)專注于半導(dǎo)體及光電領(lǐng)域,其生產(chǎn)工藝對(duì)氣體純度(≥99.999%)及壓力穩(wěn)定性要求極高。氬氣作為惰性保護(hù)氣體用于濺射鍍膜工藝,氮?dú)鈩t承擔(dān)設(shè)備清洗、氣氛保護(hù)等關(guān)鍵任務(wù)。傳統(tǒng)減壓閥難以滿足大流量、高壓差場(chǎng)景下的精密調(diào)控需求,極易因壓力波動(dòng)導(dǎo)致工藝中斷或產(chǎn)品良率下降。為此,客戶亟需一款兼具高調(diào)節(jié)精度與抗腐蝕性能的減壓閥解決方案。

二、Y43H-16P核心優(yōu)勢(shì):為電子制造量身定制

1.?材質(zhì)可靠,潔凈無(wú)污染

○?閥體采用316L不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕性強(qiáng),避免金屬離子析出污染高純度氣體;密封件選用聚四氟乙烯等高潔凈材料,滿足半導(dǎo)體行業(yè)嚴(yán)苛的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。

2.?先導(dǎo)活塞結(jié)構(gòu),精準(zhǔn)穩(wěn)壓

○?產(chǎn)品采用先導(dǎo)活塞式設(shè)計(jì),通過(guò)導(dǎo)閥與主閥協(xié)同調(diào)節(jié),實(shí)現(xiàn)出口壓力±1%的高精度控制。面對(duì)進(jìn)口壓力波動(dòng)(1.6-16MPa),出口壓力可穩(wěn)定維持在0.2-1.6MPa設(shè)定值,確保工藝氣體壓力“零偏差”。

3.?大流量適配,快速響應(yīng)

○?DN150大口徑設(shè)計(jì),流量系數(shù)Cv達(dá)140,可滿足電子制造車間連續(xù)生產(chǎn)的大流量需求;活塞式結(jié)構(gòu)響應(yīng)速度快,實(shí)時(shí)補(bǔ)償壓力變化,避免因壓力滯后造成的工藝風(fēng)險(xiǎn)。

4.?安全冗余設(shè)計(jì),保障連續(xù)生產(chǎn)

○?配備獨(dú)立安全閥接口(距出口≥4m),當(dāng)系統(tǒng)超壓時(shí)自動(dòng)泄壓;閥體結(jié)構(gòu)符合GB、ANSI雙標(biāo)準(zhǔn),通過(guò)殼體壓力測(cè)試(2.4MPa*),確保長(zhǎng)期運(yùn)行可靠性。

三、應(yīng)用成效:降本增效,護(hù)航精密制造自Y43H-16P減壓閥投用以來(lái),客戶反饋:

●?氣體壓力穩(wěn)定性提升30%,晶圓鍍膜均勻性顯著提高;

●?設(shè)備維護(hù)周期延長(zhǎng)至12個(gè)月,減少因減壓閥故障導(dǎo)致的停機(jī)損失;

●?遠(yuǎn)程壓力調(diào)節(jié)功能與可視化壓力表設(shè)計(jì),大幅降低人工巡檢成本。

項(xiàng)目負(fù)責(zé)人表示:“禹軒減壓閥的定制化解決方案,完美匹配了我們產(chǎn)線的復(fù)雜需求。其優(yōu)異的調(diào)節(jié)性能與穩(wěn)定表現(xiàn),為產(chǎn)品良率提升提供了堅(jiān)實(shí)保障?!?/p>

四、結(jié)語(yǔ):科技賦能,助力產(chǎn)業(yè)升級(jí)作為工業(yè)流體控制領(lǐng)域?qū)<遥虾S碥幨冀K聚焦客戶需求,以技術(shù)創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)產(chǎn)品迭代。此次Y43H-16P的成功應(yīng)用,不僅彰顯了其在高純度氣體領(lǐng)域的卓越性能,更標(biāo)志著禹軒在半導(dǎo)體、光電產(chǎn)業(yè)配套能力上的重要突破。未來(lái),禹軒將持續(xù)深耕精密流體控制技術(shù),為電子制造產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展注入新動(dòng)能。

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