近日，中科九微研發(fā)的“MTP系列磁懸浮復(fù)合分子泵”成功入選北京市2024年首臺（套）重大技術(shù)裝備目錄（半導(dǎo)體領(lǐng)域）。這一突破不僅標(biāo)志著中科九微在半導(dǎo)體真空技術(shù)領(lǐng)域的創(chuàng)新進(jìn)展，也彰顯了公司在自主研發(fā)和技術(shù)創(chuàng)新方面的強(qiáng)大實(shí)力。

“MTP系列磁懸浮復(fù)合分子泵”是中科九微在承擔(dān)國家重大攻關(guān)項(xiàng)目過程中，憑借自主技術(shù)研發(fā)成果取得的重要設(shè)備之一。這款設(shè)備在半導(dǎo)體制造過程中扮演著至關(guān)重要的角色，其成功研發(fā)和廣泛應(yīng)用，將大大增強(qiáng)我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的自主可控能力，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向更高端、智能、綠色的方向發(fā)展提供有力支持。

該系列泵的設(shè)計(jì)特點(diǎn)包括一體化結(jié)構(gòu)、任意角度安裝、低噪音、潔凈無油、免維護(hù)等優(yōu)點(diǎn)。它還配備了可調(diào)轉(zhuǎn)速、集成智能管理系統(tǒng)、斷電自動(dòng)保護(hù)、沖擊預(yù)警、故障診斷、溫度管理等多種先進(jìn)功能，且支持多種通訊方式，為半導(dǎo)體行業(yè)的生產(chǎn)工藝提供了更高的效率和更安全的保障。

通過這項(xiàng)技術(shù)的推廣應(yīng)用，MTP系列磁懸浮復(fù)合分子泵不僅填補(bǔ)了國內(nèi)在該領(lǐng)域的技術(shù)空白，還進(jìn)一步推動(dòng)了我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向技術(shù)自主和智能化升級的目標(biāo)邁進(jìn)，為中國半導(dǎo)體行業(yè)在全球競爭中占據(jù)更有利的地位提供了強(qiáng)有力的技術(shù)支持。

關(guān)鍵詞：中科九微,MTP系列磁懸浮復(fù)合分子泵,